RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀
可連接電腦使用也可以不連接電腦使用,連接電腦使用帶自動(dòng)測量功能,自動(dòng)選擇適合樣品測試電流量程;
高速并口通訊接口,連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒;
RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示,亦可由計(jì)算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表格,圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項(xiàng)測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù):
測量范圍 | 電阻率:0.0001~2000Ω.cm(可擴(kuò)展); 方塊電阻:0.001~20000Ω/□(可擴(kuò)展); 電導(dǎo)率:0.0005~10000 s/cm; 電阻:0.0001~2000Ω.cm; |
可測晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測試臺(tái)); 200mmX200mm(配S-2B型測試臺(tái)); 400mmX500mm(配S-2C型測試臺(tái)); |
恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV; 輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1% ; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動(dòng)顯示; |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%; 探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力); |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測量相對誤差 | 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字 |
整機(jī)測量zui大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5% |
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
測試模式 | 可連接電腦測試也可不連接電腦測試 |
軟件功能(選配) | 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù),并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測量功能,根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。 |
計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口,高速并行采集數(shù)據(jù),連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃; 相對濕度:≤65%; 無高頻干擾; 無強(qiáng)光直射; |
配置 | 四探針測試儀主機(jī)、S-2B型探針臺(tái)、FT-201四探針探頭 | 13000/套 | ||||||
配置 | 四探針測試儀主機(jī)、S-2B型探針臺(tái)、FT-201四探針探頭、測試軟件(含測控模塊) | 17000/套 | ||||||
配置 | 四探針測試儀主機(jī)、S-2B型探針臺(tái)、FT-201四探針探頭、臺(tái)式電腦 | 22000/套 | ||||||
備注 | 用戶可按實(shí)際需要選擇配置,電腦可按用戶要求以市場價(jià)配置或自行購置安裝測試軟件即可 |
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